上海埃飛科技
Worldwide Technology(S. H)
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Worldwide Technology(S. H)產品展示
旋涂機
我們的高品質、全NPP POLOS單晶片旋涂機專 為MEMS、半導體、PV、微流體領域等領域的研發和小批量生產而設計。適用于所有典型的旋涂 工藝：清潔、沖洗/干燥、涂層、顯影和蝕刻。
我們的高品質、全NPPPOLOS單晶片旋涂機專
為MEMS、半導體、PV、微流體領域等領域的研發和小批量生產而設計。適用于所有典型的旋涂
工藝：清潔、沖洗/干燥、涂層、顯影和蝕刻。
這些市場上成熟的型號非常適合處理從直徑為 2.5 毫米到 160 毫米/ 260毫米的小碎片或尺寸為100x100 毫米或 150x150 毫米的方形樣品的各種基材。系統包括帶注射器支架的透明蓋子
直徑可達 300 毫米。 這些裝置通過易于使用、可拆卸的彩色觸摸屏進行操作，提供直觀的編程和配方存儲?？梢赃x擇添加各種噴嘴、超音速清洗和分配線。所有旋涂機都標配有夾
頭。標準單元為NPP材料，PTFE單元為PTFE。
SPIN150i 適用于長達 150 毫米的基材，包括免費的真空吸盤 A-V36 和片段適配器 D-V10。
SPIN 旋涂機規格
可編程 CW 和 CCW 以及攪拌旋轉帶傳感器聯鎖的自動安全蓋鎖
速度 0 rpm - 12,000 rpm，精度 +/- 0.1 rpm
加速/減速 1 - 30,000 rpm/sec，每步可選
POLOS Advanced 系列規格
帶傳感器聯鎖的自動安全蓋鎖自動順序或平行化學品分配
多達 6 個噴嘴，每個噴嘴可獨立編程
因用于機器人各方面應用且與大多數機器人類型兼容，AutoCal系統可以檢測出機器人自身構造和工具中心點（TCP）的 突然改變或偏離，并且該系統無需人為干涉就自動地更正這些誤差。
AutoCal系統-Dynalog的先進水平校準技術，Dynalog是機器人單元標定技術的世界領導者。它的主流產品DynaCal 系統，被應用于離線的機器人單元校準，并作為最精確的和技術先進的機器人校準程序為許多機器人制造商和終端使用者所接受。AutoCal 系統將已證實的DynaCal校準技術結合到一個在線的全自動系統中，該系統專為程序控制和復原而設計的，價格低廉。
AutoCal系統提供在線的機器人校準方案，旨在快速和自動地保證機械設備的工作性能。因用于機器人各方面應用且與大多數機器人類型兼容，AutoCal系統可以檢測出機器人自身構造和工具中心點（TCP）的 突然改變或偏離，并且該系統無需人為干涉就自動地更正這些誤差。這意味著不用猜測哪里會出錯，不用浪費寶貴時間在機器人程序重復校準上，產品品質無任何損失。
AutoCal系統-Dynalog的先進水平校準技術，Dynalog是機器人單元標定技術的世界領導者。它的主流產品DynaCal 系統，被應用于離線的機器人單元校準，并作為最精確的和技術先進的機器人校準程序為許多機器人制造商和終端使用者所接受。AutoCal 系統將已證實的DynaCal校準技術結合到一個在線的全自動系統中，該系統專為程序控制和復原而設計的，價格低廉。